本平台为上海市科委批准成立的专业技术服务平台，于2014年9月开始筹建，2016年通过验收。主要服务内容：电子行业材料表面形貌及内部结构的表征、电子级超纯试剂材料痕量杂质的测定、各类半导体元器件制程封装过程中所使用的各类电子级气体有害杂质的在线监测等。

　　平台在两年内改扩建超净实验室500平米，添置高端设备10余台套，开发应用了6项新的检测方法，并成功转化为国家行业或团体标准，向国家认可委、国家实验室合格评定委员会申请获批了85个项目参数的检测新能力，起草制定了8项规章。

　　至今，服务行业企业已有260多家，服务金额近千万元，服务次数达3000余次，完成样品的测试数量更是达到了10000多件。取得了良好的社会与经济效益。