2020年7月28日,我院材质中心理化室与国际分析仪器巨头赛默飞世尔公司在上海共同举办了“集结技术,突破核心”——2020年集成电路行业发展与分析技术研讨会。此次会议也是我院“上海市电子化学品计量检测技术服务平台”(以下简称“平台”)的一项重要对外服务活动。
在中美技术摩擦的背景下,随着市场需求和国家政策的推动,我国集成电路产业正在经历着前所未有的发展变革。随着芯片制程工艺水平的不断提升,对各类材料及化学品的品控要求近乎苛刻,杂质的检测要求已达十亿分之一的级别,对检测方法和检测设备都提出了全新的要求。在此背景下,我院与赛默飞世尔公司强强联合,为上海及周边地区的集成电路及电子化学品生产企业及研发机构,提供了一次很好的学习交流机会,共同探讨了我国集成电路技术的发展,集成电路领域新的技术应用和前沿发展成果。平台为集成电路产业提供大型设备计量校准、湿电子化学品杂质检测、纳米尺寸与颗粒度检测、电子级气体质量评价和物理表征等多项技术服务。
参加此次研讨会的单位既有中芯国际、新昇半导体等我国集成电路支柱企业,又有诸如洛阳中硅、浙江巨化等新兴民营电子化学品生产企业,共有116名参会人员。会上我院人员介绍了“平台”的功能和服务内容,分享了2019年集成电路产业发展报告,赛默飞世尔公司特邀业内专家分别介绍了高纯金属靶材、大尺寸硅片和超痕量检测的技巧等多方面内容。研讨会干货满满,气氛热烈,得到了与会人员的一致好评。